Your location: Home » CSN Terminology database » ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 - fotolitografie s fázovým kontrastem

ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 - Nanotechnologie - Slovník - Část 8: Procesy nanovýroby

Download standard:	ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 (Show details) Customers who have agreed on their computer from ÚNMZ service CSN on-line-for electronic access to the full texts of standards in pdf (version for companies or individuals) may open directly quoted CSN here.
Published:	2016-11-01
Source:	https://www.iso.org/obp/ui/#iso:std:iso:ts:80004:-8:ed-1:v1:en
Classification symbol:	012003
ICS:	01.040.07 - Matematika. Přírodní vědy (názvosloví) 07.120 - Nanotechnologie
Status:	Invalid

Standard terminology

‹

Report an error

7.1.21 fotolitografie s fázovým kontrastem

expozice rezistu materiálu prostřednictvím fázového posunu, za účelem zvýšení rozlišení vzorů nanostupnice (2.7)

exposure of a resist material through phase-shifting reticles to increase resolution of nanoscale (2.7) patterns