ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 - Nanotechnologie - Slovník - Část 8: Procesy nanovýroby
Stáhnout normu: | ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 (Zobrazit podrobnosti) |
Datum vydání/vložení: | 2016-11-01 |
Zdroj: | https://www.iso.org/obp/ui/#iso:std:iso:ts:80004:-8:ed-1:v1:en |
Třidící znak: | 012003 |
ICS: |
|
Stav: | Neplatná |
‹
Nahlásit chybu
7.1.13 ion induced etching
use of a focused ion beam to induce the localized reaction of an adsorbed molecule to etch the substrate material
7.1.13 leptání indukované iontem
vyvolání lokalizované reakce adsorbovaných molekul za účelem odleptání materiálu substrátu použitím soustředěného iontového svazku