ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 - Nanotechnologie - Slovník - Část 8: Procesy nanovýroby
Stáhnout normu: | ČSN P CEN ISO/TS 80004-8 (Zobrazit podrobnosti) |
Datum vydání/vložení: | 2016-11-01 |
Zdroj: | https://www.iso.org/obp/ui/#iso:std:iso:ts:80004:-8:ed-1:v1:en |
Třidící znak: | 012003 |
ICS: |
|
Stav: | Neplatná |
‹
Nahlásit chybu
7.2.19 sputter deposition
physical vapour deposition (7.2.14) process employing energetic particles to transfer atoms from a target material to a substrate
7.2.19 naprašování
proces fyzikální napařování (7.2.14), využívající energetické částice pro přenos atomů ze zdrojového materiálu na podklad