ČSN IEC 60050-523 - Mezinárodní elektrotechnický slovník – Část 523: Mikroelektromechanické součástky
| Stáhnout normu: | ČSN IEC 60050-523 (Zobrazit podrobnosti) | |
| Změny: |
|
|
| Datum vydání/vložení: | 2019-06-01 | |
| Zdroj: | http://www.electropedia.org/iev/iev.nsf/welcome?OpenForm&Seq=1 | |
| Třidící znak: | 330050 | |
| Obor: | Terminologie - Mezinárodní slovník | |
| ICS: |
|
|
| Stav: | Platná |
523-05-06 proces LIGA
proces vytvářející mikrostruktury, které lze použít jako formu, použitím hloubkové litografie, založený na rentgenovém záření následovaném galvanoplastikou
POZNÁMKA 1 k heslu LIGA je zkratka německého názvu pro Lithographie, Galvanoformung und Abformung – litografie, galvanoplastika a odlévání do formy. Charakteristiky procesu LIGA zahrnují možnost hromadného vytváření mikrostruktur s velkým poměrem šířka/hloubka, s šířkou čáry 1 m až 10 m a výškou několik stovek m, která dovoluje použít velké množství materiálů včetně plastů, kovů a keramiky, které se kombinují s křemíkovými polovodičovými prvky atd.
[ZDROJ: IEC 62047-1:2016, 2.5.13, modifikováno – Definice byla přeformulována.]
523-05-06 LIGA proces
process for creating a microstructure that can be used as a mould by using deep lithography, based on X-rays followed by electroforming
Note 1 to entry: LIGA is an acronym for Lithographie, Galvanoformung und Abformung, the German for lithography, electroforming, and moulding. Characteristics of the LIGA process include the ability to mass-produce high aspect-ratio microstructures with a line width of 1 m to 10 m and a height of several hundreds of micrometres, to allow the use of a wide range of materials including plastics, metals, and ceramics, and to be combined with silicon semiconductor elements, etc.
SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.13, modified – The definition has been rewritten.