ČSN IEC 60050-523 - Mezinárodní elektrotechnický slovník – Část 523: Mikroelektromechanické součástky
| Stáhnout normu: | ČSN IEC 60050-523 (Zobrazit podrobnosti) | |
| Změny: |
|
|
| Datum vydání/vložení: | 2019-06-01 | |
| Zdroj: | http://www.electropedia.org/iev/iev.nsf/welcome?OpenForm&Seq=1 | |
| Třidící znak: | 330050 | |
| Obor: | Terminologie - Mezinárodní slovník | |
| ICS: |
|
|
| Stav: | Platná |
523-07-03 spektrální elipsometrie
optická měřicí metoda, u které se vzorek postupně ozařuje monochromatickým světlem několika vlnových délek a na základě polarizovaného odrazu je možno současně stanovit jeho tloušťku a refrakční index
POZNÁMKA 1 k heslu Světlo z monochromatického spektroskopu se pomocí polarizátoru lineárně polarizuje. Potom dopadá na vrstvu a měří se jeho intenzita a polarizace. Z naměřených hodnot se počítá tloušťka a refrakční index.
[ZDROJ: IEC 62047-1:2016, 2.7.5]
523-07-03 spectroscopic ellipsometry
optical measurement method where the sample is successively irradiated with several-wavelength monochromatic light and both the thickness and the refractive index of the layers can be obtained simultaneously from the polarized reflection
Note 1 to entry: Monochromatic light from a spectroscope is linear-polarized using a polarizer. Then the light is irradiated on the thin film, and the reflected light intensity of the polarized components is measured. The thickness and the complex refractive index can be calculated from the measurement results.
SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.7.5